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ウエハー多関節RB昇降移載機
クリーン度クラス10
シンプルで簡潔な機構設計。
高い繰り返し精度と高耐久性を兼備。
半導体工場に納入する。高クリーン度下における高揚程移載機です。30年以上の納入実績を誇るセリックスの半導体工場内搬送機械装置の製品例。
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